文章编号 1004-924X（2026）07-1057-11

关键词： 微孔测量; 深径比; 自动对焦; Tenengrad 梯度函数; 大津法

中图分类号：TH741;TP391 文献标识码：A

doi：10.37188/OPE.20263407.1057 CSTR：32169.14.OPE.20263407.1（试读）...